半導體生產制造按照其制造技術大致可以分為:集成電路器件、分立器件、光電半導體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等大類,如若細分還會有更多的分類方式。半導體器件的生產對生產環(huán)境要求很嚴,其涉及數百個制造工序,由于其生產技術的特殊性,為了產品的質量及使用壽命,對生產場所的環(huán)境,如溫度、濕度,壓力、通排風量、潔凈度等都有嚴格要求。
一般在達到百級的半導體潔凈室平面裝修方案中,設計師會依然會和千級、萬級、十萬級等潔凈標準一樣依據人流和物流凈化流向來做精確的布局和配套系統(tǒng)設計:
工作人員的凈化路線為:
入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風淋室→潔凈生產區(qū)。
物品的凈化路線為:
入口→原料庫→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫。
按照兩種凈化路線,分別依工藝布局潔凈區(qū)與輔助用房。其他空氣凈化機房、超純水處理站可以安排在同一層,使?jié)崈艨諝?、純凈水通過技術管道夾層送到潔凈生產區(qū)。消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機房、配電室、防排煙機房、生活用房、值班室、衛(wèi)生間等都需依據“建筑設計防火規(guī)范”和“潔凈廠房設計規(guī)范”的要求設置布局。
在配套系統(tǒng)技術層面,以暖通空調系統(tǒng)的節(jié)能布局來說,分區(qū)也要以下列內容為參照依據:
1、潔凈度,溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng),可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。
3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調房間合為一個系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調系統(tǒng)。
6、產塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設計為一個系統(tǒng)。
7、混合后會產生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個凈化空調系統(tǒng)。
8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設系統(tǒng),而且應為不回風的直流系統(tǒng)。
半導體無塵車間的建設涉及的專業(yè)內容很多,譬如在各種生產和封裝過程中建立起靜電防護系統(tǒng)也很有必要,像IC封裝生產線對靜電的更為嚴格。為了保證生產線的正常運行,合景凈化工程公司這類潔凈廠房集成服務商還會對其建設的潔凈廠房進行防靜電建設,當中也會涉及很多專用材料的篩選、結構維護工程、暖通工程、特種氣體工程、空壓氣體工程、廢氣工程、電氣工程、弱電系統(tǒng)工程、智能平臺、純水工程及廢水處理工程這些配套系統(tǒng),如何讓這些系統(tǒng)更好的服務于每個車間,以達到半導體廠房整體既滿足工藝和產能需求,還盡可能地實現節(jié)能減排要求,可以多借鑒合景凈化工程公司的建設經驗。
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